網站首頁 產品系列 氮氣發生器 NITROGEN-M-100/200半導體專用氮氣發生器

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半導體專用氮氣發生器
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半導體專用氮氣發生器

Peculiar針對LC/MS氮氣流量、純度、壓力的特殊要求專門設計了安全、高效、方便的半導體專用氮氣發生器,它可以產生純度高達99.5%的潔凈、干燥氮氣,符合半導體行業腔體保護氣,干泵吹掃氣要求,包含APCI及ESI接口。

更新時間

2026-01-21

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生產廠家

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產品詳情

半導體專用氮氣發生器(腔體保護氣,干泵吹掃氣)

型號:NITROGEN-M-100/200

Peculiar針對LC/MS氮氣流量、純度、壓力的特殊要求專門設計了安全、高效、方便的半導體專用氮氣發生器,它可以產生純度高達99.5%的潔凈、干燥氮氣,符合半導體行業腔體保護氣,干泵吹掃氣要求,包含APCI及ESI接口。

半導體專用氮氣發生器(腔體保護氣,干泵吹掃氣)主要技術參數:

◎流量:0-100/200L/min  @100psi(7bar)

◎工作環境:5C-40℃   濕度80%

◎使用最高海拔:2200m

◎露點:<-55℃

◎顆粒:<0.01μm

◎滯留液體:無

◎鄰苯二甲酸:無

◎噪聲:<47dB(A)

◎開機純化時間:30min

◎功率:8000W

◎電力要求:220V 50Hz

 

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